LIGA<meta http-equiv="Content-type" content="text/html; charset=utf-8"> <link rel="shortcut icon" href="../../favicon.ico"><link rel="stylesheet" href="../../wikistatic.css"></head> <body><div id=topbar><table width='98%' border=0><tr><td><a href="../../h/ha/hauptseite.html" title="Hauptseite">Hauptseite</a> | <b><a href="http://de.wikipedia.org/wiki/LIGA" title="LIGA">Aktueller Wikipedia-Artikel</a></b></td> <td align=right nowrap><form name=search class=inline method=get action="../../../search/search.html"><input name=search size=19><input type=submit value=Search></form></td></tr></table></div> <div id=article><h1>LIGA</h1>Die <strong>Lithografisch-galvanische Abformung</strong> (<strong>LIGA</strong>) ist eine Technik in der <A HREF="../../m/mi/mikrosystemtechnik.html" title="Mikrosystemtechnik">Mikrosystemtechnik</A>, um mikrometerfeine Strukturen aus Kunststoff oder auch Metall herzustellen.<p> <A NAME="Vorgehensweise:"><H2>Vorgehensweise:</H2><p> <ol><li> Ausgangsmaterial ist ein Siliziumwafer mit einem (dickschichtigen) Fotolack. </li><li> Der Fotolack wird belichtet, so dass nach dem Entwickeln die am Ende gewünschte Struktur stehenbleibt. </li><li> In einem <A HREF="../../g/ga/galvanotechnik.html" title="Galvanotechnik">galvanischen</A> Verfahren wird ein Metall auf dem Siliziumwafer zwischen dem Fotolack abgeschieden. </li><li> Nach dem Entfernen des Fotolacks bleibt das Metall zurück, das jetzt als Werkzeug oder auch als metallisches Bauteil benutzt werden kann. </li><li> Mit der erzeugten metallischen Negativform wird nun das erwünschte Kunststoffbauteil abgeformt, entweder durch <A HREF="../../s/sp/spritzgiea_en.html" title="Spritzgießen">Spritzgießen</A> oder Heißprägen.<p> </li></ol>Wiederholt man die Schritte Belichten, Entwickeln und <A HREF="../../g/ga/galvanik.html" title="Galvanik">Galvanik</A> mehrmals, so kann man komplexere Strukturen entwerfen, die sich aber zum <A HREF="../../s/su/substrat.html" title="Substrat">Substrat</A> (dem <A HREF="../../w/wa/wafer.html" title="Wafer">Wafer</A>) hin verjüngen müssen, sonst würde sich das Bauteil nicht aus der Form lösen. Dies beschränkt die Komplexität der herzustellenden Struktur.<p> Benutzt man die mittels LIGA erzeugte Form zum Spritzgießen, ergibt sich eine Besonderheit im Gegensatz zur Herstellung makroskopischer Teile: es müssen keine Bohrungen für das Entweichen der in der Form vorhandenen Luft vorgesehen werden, da beim Herstellen von Bauteilen einiger hundert Mikrometer Größe die Unebenheiten der Kontaktfläche von Form und Gegenstück für das Entweichen der Luft ausreichen. Nur die Bohrungen für das Zuführen des zu spritzenden Materials müssen erzeugt werden.<p> Mittels LIGA-Technik werden Zahnräder für Miniaturgetriebe (zum Beispiel im Kopf eines Bohrers beim Zahnarzt) und mikrofeine Düsen für Filter hergestellt.<p> Miniaturisierte <A HREF="../../g/ge/getriebe.html" title="Getriebe">Getriebe</A>, die mittels LIGA-Technik hergestellt wurden, kann man aufgrund ihrer geringen Größe nicht schmieren. Deshalb besteht die Kunst der Entwicklung eines solchen Getriebes darin, Materialkombinationen zu finden, die selbstschmierend sind. So sind etwa zwei Zahnräder aus dem <em>gleichen</em> Material schlechter als die Kombination von bestimmten <em>unterschiedlichen</em> Materialien.<p> Ein Mikro-<A HREF="../../e/el/elektromotor.html" title="Elektromotor">Elektromotor</A> besteht aus <A HREF="../../m/ma/magnet.html" title="Magnet">magnetischem</A> Material, i.d.R. einer <A HREF="../../n/ni/nickel.html" title="Nickel">Nickel</A>/<A HREF="../../e/ei/eisen.html" title="Eisen">Eisen</A>-<A HREF="../../l/le/legierung.html" title="Legierung">Legierung</A>. Alle Bestandteile des Mikromotors werden in <em>Mikrogalvanoformung</em> hergestellt.</div><br><div id=footer><table border=0><tr><td> <small>Dies ist ein Artikel aus der freien Enzyklopädie <a href="http://de.wikipedia.org">Wikipedia</a>. Stand: August 2004. Der Artikel steht unter der <a href="http://www.gnu.org/licenses/fdl.txt">GNU Free Documentation License</a>.</small></td></tr></table></div>